荷兰光刻机一台多少钱(光刻机每台10亿,为何光刻机核心技术很难学到)

2024-10-15 11:20:09 :12

荷兰光刻机一台多少钱(光刻机每台10亿,为何光刻机核心技术很难学到)

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光刻机每台10亿,为何光刻机核心技术很难学到

手机性能的强悍与否最重要的就是看它的芯片是不是给力。作为手机数据处理的心脏,核心的芯片也是现在各大手机厂商竞相订购的对象。对于咱们中国而言,手机芯片的研发和制造起步时间并不早,但是后起之辈却是速度超群。现在国际上最为先进的手机芯片制式5nm技术的设计工作,华为已经可以实现。但是制造的话,可就不是那么简单的事情了。 

众所周知,在5nm级别芯片的代工方面,华为现在陷入了一个不太好的境况,受制于美国专利技术话语权的影响,各大芯片生产厂商都开始"不得已"拒绝接受华为的订单。而我们国家现在却还不具备量产5nm芯片的技术能力。有人说,不就是不给我们做么,大不了我们自己做。这样的说法是很硬气,但是有点过于想当然尔。 

制作5nm芯片的最为重要的工具:高端光刻机,目前我们国家还没有,并且也暂时没有马上生产出来的能力。这是因为这个利用光学投影原理对硅片进行印刷的技术要求有非常高的精度和准确度,真的可以说是失之分毫差之千里。而现在我们国家自主的技术也只能在极限状态下达到之前主流的7nm级别。 

说起来,光刻机一直都是各个芯片制造厂商最为重要的机器之一。全球最为先进的产品现在出自荷兰,但它并不是荷兰完全拥有知识产权的物品,简单地说荷兰只拥有其中的一小部分,而包括镜头、光源、对准技术在内的核心技术分别掌握在日本、美国和德国手中。正因为如此,美国才能理直气壮趾高气昂的要求相关企业停止向华为供货;而荷兰的ASML甚至放话说,就算是给中国企业光刻机的图纸它们也造不出来。 

光刻机是一个非常精密的机器,看着体型很巨大,但是内部的每一个部件都说得上是高精尖,单单一台光刻机就能卖到10亿人民币。正因为如此,它的研发速度和进展才会变得很难。本身现在就是全球技术大集合的时代,如果只是靠一国之力解决所有的部件生产研发的话那就是已建成几何倍数增长的难事。而恰恰这也是中国正在面对的问题。 你知道吗,一台ASML出品的最新款的EUV光刻机的价格大约在1.5亿美元(10亿人民币)。这样的售价也能证明,其内部的每一个部件可能都是高价值产品。所以真正想要研发并且制作成功当今世界上最为先进的光刻机的话,如果只凭自己可能需要好几代人的努力才能成功。

如果开价几百万亿购买光刻机,荷兰会卖吗

几百万亿?

怕是你不知道这个资金是什么概念?国内芯片代工厂商中芯国际2017年曾向荷兰ASML公司定制了一台7nm工艺的EUV光刻机,当时是缴纳1.2亿美元的定金(卖给我国的比较贵,从公开的数据来看,荷兰ASML得EUV光刻机每台的价格大概在0.8-1亿美元左右),不过要说的是这台机子到目前还未交付(美国的阻扰)。

2019年荷兰的名义GDP约为8107.04亿欧元,按平均汇率折算约为9075.83亿美元,还不到1万亿美元,几百万亿美元是买下整个荷兰都不成问题了;就算不是几百万亿美元,改为人民币,以中间值500万亿人民币为例,折合71.43万亿美元,依然是荷兰GDP总量的近80倍,是美国GDP的3.5倍左右。

更为关键的GDP不是政府可用的资金,政府可用的资金为财政收入,2019年我国的财政收入也就堪堪突破19万亿人民币而已,所以我国也不可能拿出几百万亿的资金出来,真的有这么多资金,别说几百万亿了,就是十分之一几十万亿投进去研发,不用几年都能赶超荷兰ASML的光刻机了。

如果说我国真的出几百万亿购买,别人说ASML名义主人荷兰,即使是其背后真正的主人美国,都会卖,因为一旦我国以几百万亿的资金购买光刻机,那么我国其他方面的发展资金就会严重不足,直接拖累其他方面的进展,而拿出的几百万亿资金足够美国发生质的飞跃了(美国200多年来,累计下的美债也不过就21万亿美元左右),所以美国人求之不得。

光刻机外的技术

光刻机技术很重要,但我国落后的并不仅仅只是光刻机,发动机领域、精密制造领域、医疗设备领域等等也落后世界,难道说每个技术都要靠巨额资金去购买吗?显然不现实,出太高的钱,我们不划算;出太低的钱,没到伤筋动骨的地步,美国根本不可能出口给你,在美国看来,除非你付出的比你收获的还高,它才有可能放手,否则一切还是要靠我们自己来。

缺少是时间

中国并不缺少人才,中国缺少的是时间,美国从1776年7月4日独立到现在,已经超过了240年的历史了,而我国1949年建国至今不过短短70年,还不到美国的三分之一,如果从改革开放后的时间来算,甚至只有六分之一;高精尖的技术发展是需要基础学科的支持的,而基础学科的发展不是一朝一夕可以达成的,我国短短几十年能做到现在这个程度已经很不错了,所以中国现在缺少的时间,在足够的时间之下,我国可以追赶上任何的一个国家,这也是我们民族特性所决定的。

光刻机是干什么用的一台价值30亿

光刻机是制造芯片的必备设备。芯片是干什么用的?可能有人会嘲笑这个问题,说它太初级,太简单;是的,有些人可能不知道芯片的用途,但世界上几乎每个人都在使用芯片。这不是夸张,是事实!芯片的用途:手机、高铁、汽车、电网、家用电器、医疗设备、各种自动化设备等。芯片的功能:执行运算,处理各种任务,输出数据和指令。芯片这么厉害,怎么做出来的?使用的设备是本文介绍的重要机器——光刻机。现在很多人说,当年造光刻机比造原子弹还难。是的,这绝对是真的。现在信息发达;科技进步;先进的设备;有很多专业人士有高深的知识,却做不出光刻机。难度显而易见。这里有个问题要说明一下:中国也能做芯片,但是质量和规格跟不上当今尖端技术的需求。今天我们国家能生产16纳米规格的芯片,和国际先进水平差距很大。(有消息说中国已经能做出7 nm光刻机,但没有得到证实。)荷兰ASML公司据说开发了1纳米芯片掩模对准器;台湾的TSMC和韩国的三星集团争相购买。谁拥有了设备,谁就能生产出最先进的产品,谁就能占领世界高端芯片市场,就会有大把的钱可赚,都要抢着买。据说这样一台光刻机设备要花30亿人民币。世界上生产光刻机最权威、最领先、最有实力的企业是荷兰的ASLM公司。这个公司不是一兵一卒,有美国和欧盟的大力支持。光刻机的生产组件来自多个国家,有一万多个组件。还有另外两家日本公司也生产它们:佳能和尼康。正如你所看到的,这两家公司是世界知名的公司,曾经生产照相机和录像机。但是技术落后于荷兰公司。

假如我们出非常高几百万亿的价格来买荷兰的光刻机技术荷兰会卖吗

如果我们出几百万亿来买荷兰光刻机的技术肯定是没问题的,但是我们能不能找出光刻机依旧要打个问号。

几百万亿足够令ASML疯狂其实早在2018年的时候中芯国际就向荷兰ASML公司预定过一台7nm的光刻机,价格是1.2亿美元。虽说最后由于美国的阻挠没能最终达成交易,还是可以看出来在ASML的心中利益才是重中之重。目前ASML公司的市值也就1335.84亿美元,换算成人民币也就不到一万亿。人们常说商人面对500%的利润就可以与世界为敌;如果你给他们几百万亿哪怕是人民币,ASML公司不止会把技术给你安排的好好的,甚至以后只帮中国制造光刻机都没问题。至于美国的脸色?在金钱面前统统见鬼去吧。

有技术我们不一定能制造出来光刻机以前ASML的一位高管曾经放言,就算是把光刻机的图纸拿给中国,他们也制作不出来光刻机。虽然这句话听起来让人很不服气,但是这就是目前的事实。ASML最强大的一点就是它基本上直接或者间接的和所有制造最顶级光刻机零部件的公司保持合作,这让它制作出来的光刻机也是世界上最顶级的存在。即使中国能掌握了所有的技术,但是采购不到零部件还是巧妇难为无米之炊,只能看着图纸流口水。就算我们有计划的把所有的零部件都自研国产化,从目前的进度上看我们大概需要5~10年左右,到时候ASML又把中国远远的甩开了。

为什么没有人起诉ASML公司垄断?按道理说ASML公司基本上已经垄断了高端光刻机的市场,为什么没有人起诉ASML涉嫌垄断呢?这里就要讲到ASML的一个非常聪明的做法,那就是把所有的供应商都变成盟友。在1984年ASML公司成立之初就定下了一个规矩,那就是想要获得ASML的优先供应,就必须要成为ASML的股东。在这种利益的驱动下不少顶尖的科技公司如三星电子、台积电、海力士、英特尔都入股了ASML。既然大家成了利益共同体,自然是希望公司的效益越来越好,更不会有人去使绊子。总的来说即使我们花了大价钱买来了技术,但是光刻机需要的零部件生产不出来依旧没用。希望国家能投重金在光刻机领域,买来的终究不靠谱,只有把技术掌握在自己手里才是最踏实的。

为什么光刻机如此重要

总结下来,主要有以下几点:

1、技术上壁垒高。

ASML总裁Peter Wennink也在媒体上方言:高端的EUV光刻机永远不可能(被中国)模仿。

“因为我们是系统集成商,我们将数百家公司的技术整合在一起,为客户服务。这种机器有80000个零件,其中许多零件非常复杂。以蔡司公司为例,为我们生产镜头,各种反光镜和其他光学部件,世界上没有一家公司能模仿他们。此外,我们的机器完全装有传感器,一旦检测到有异常情况发生,Veldhoven总部就会响起警报。”

2、长周期投入。

光刻机是典型到极致的高风险、高投入的赛道,前期的投入很高收益很慢,有时候身体要贴钱投入。从ASML的研发投入基本达到15%以上,有时候全年负增长也是常态。

据一位在ASML工作的知乎作者@俗不可耐透露:“ASML的EUV光刻机才真正开始盈利”,而ASML在这项技术上投入的时间是27年。试问有多少企业可以做到。

3、更换供应商成本太高。

买到一台机器和用好机器是两码事。ASML极紫外(EUV)光刻机每台售价达到1.2亿美元,重达180吨,零件超过10万个,运输时能装满40个集装箱,安装调试时间超过一年。除此之外,磨合与提高良率都需要时间堆砌,只要没有大的技术变革,厂商们不可能轻易放弃ASML当其他厂商的小白鼠的。

台积电(占据全球晶圆代工的大半壁江山)、三星、英特尔、格罗方德包括国内的中芯国际都是ASML的客户,其中三星、英特尔、格罗方德还是ASML的股东,三大巨头转投其他家的可能不大。

光刻机之所以重要,在于它是实现摩尔定律的基础:

摩尔定律指出集成电路上能被集成的晶体管数目,将会以每18个月翻一番的速度稳定增长。可以把晶圆的整体构造想象成在微观世界构建大楼,如果想让整个建筑有更多的小房间可以容下晶体管,这就要求房屋的整体框架要精细再精细。反映到光刻机上就意味着它投射到晶圆上的尺寸越小。

EUV光刻机代表了大厂在先进制程方面的领先性,目前只有荷兰ASML一家能够提供可供量产用的EUV光刻机。各大Foundry厂和IDM厂在7nm以下的最高端工艺上都会采用EUV光刻机,客户以英特尔、台积电、三星、SK海力士为主。

ASML在2019年出售了26台极紫外线(EUV)光刻设备,大概一半供给了台积电。

什么是光刻机一台光刻机可以制造多少芯片

一台光刻机可以制造很少的芯片。相信大多数人都清楚,光刻机的用途是刻字。光刻机是生产手机芯片的重要机器之一。目前,只有少数国家可以生产光刻机,只有荷兰ASML公司可以生产高精度光刻机,而且荷兰ASML公司垄断了全球高精度光刻机80%以上的市场份额。目前,一台光刻机的成本高达上亿美元,而一台光刻机一年的产能最多只有几台,光刻机是目前世界上最尖端的设备技术之一,而一台7纳米的光刻机价格非常昂贵,价格高达1.2亿美元,甚至1.2亿美元的光刻机,也是供不应求。

据悉,华为的麒麟990流片的成本号称高达3000万美元,相当昂贵。不过,经过验证和流片等一系列过程,一旦芯片能够投入试产和量产,整体就会稳定下来。光刻机巨头,目前是ASML,负责全球大部分光刻机的订单。但即便如此,资料显示,ALSM在十年间只生产了57台光刻机。不难看出光刻机对技术的要求有多高。值得注意的是,57台光刻机中的30台被台积电以每台约10亿元人民币的价格售出。换言之,台积电仅在光刻机上就花费了300亿美元。在荷兰的垄断下,10亿台光刻机,当年能生产多少芯片?

据相关数据显示,目前ALSM提供的摄影机的理想产能为每小时200片12英寸晶圆,其中大部分处于理想产能的50%。以华为的9905G芯片为例,其总面积为113.31平方毫米,那么一块12英寸晶圆可以提供约600块原材料,除去一些不好的和质量差的,约500块。因此,如果你看一下,那就是每天50万个芯片,一台平版印刷机一年可以生产大约1.8亿个。因此,价值10亿美元的光刻机是值得的。

一台机器卖一亿欧元的荷兰公司是哪一家,为什么这么厉害

因为中兴通讯被美国商务部禁售,这种只有行业人士才知道的高端设备也被大众所知晓,这就是光刻机,它是生产芯片最为关键的设备之一。最高端的光刻机一台能卖一亿美元,并且还得排队购买,即便了下单一般21个月后才能供货。

全球高端光刻机来自荷兰ASML,中文叫阿斯麦,这家全球最顶级的光刻机制造商目前占全球高端高光刻机90%以上的市场份额,也就是说ASML公司处于绝对垄断地位。

荷兰ASML是从著名电子制造商飞利浦独立出来的,专注高端技术研发,生产高端光刻机。公司的经营策略有两大特色,一是进行全球采购,确保能得到最先进的元器件,二是优先供货给投资者,所以IBM、台积电、三星、英特尔等都占有公司股份,这对ASML来说即保证了充足的研发资金又能对高端产品市场销售进行足够的控制。

ASML公司最新产品EUV,也就是极紫外线光刻机,预计2019年供货给中芯国际,该设备是全球最高端也是唯一可以生产10纳米以下芯片的光刻机,这对IC行业发展影响巨大。

荷兰有家高 科技 公司,叫做ASML,中文叫做阿斯麦公司,是一家专门生产制造电子芯片机器的公司,总部设在荷兰的Veldhoven。这里生产的机器,目前每台价值1亿欧元左右,而且订单已经排到明年。今年计划供应22台,明年至少30台。

这家荷兰的阿斯麦公司,是世界芯片制造业的领头羊,其客户包括IBM、TSMC和Intel等芯片巨头。 阿斯麦公司在这个产品市场的占有率,目前达到90%,竞争对手是日本的佳能和尼康。

随着手机、掌上电脑和各种电子设备的流行,对电子芯片的需求日增。该公司总裁Peter Wennink去年曾说,需求很多,越来越多。估计到2020年全世界有500亿台电脑和互联网连接,因此,对运算和记忆用的芯片需求数量很大。

阿斯麦原来是荷兰电子巨头飞利浦属下的一个研发半导体产品的部门,后来从飞利浦公司分离出来,1984年跟飞利浦合组新公司,是该公司ASM International和Philips的合并,用了ASM Lithography的名字,简称就是ASML。

多年来,该公司不断创新,不断推出新一代产品,保持着世界领先的地位。从最初只能生产45个纳米(Nanometer)的芯片,采用新的技术,在2024年,将推出制造只有3个纳米的芯片的新机器。

这家公司,从1995年开始,已经在阿姆斯特丹和美国的NASDAQ上市。

日前,该公司在发表最新业绩的同时,宣布全球招聘3000人。公司总裁Peter Wennink说,荷兰国内这方面的专业技术人才已经逐一梳理过了,必须引入外国的人才,否则公司难以得到更大的发展。这位总裁说,现在人人谈论比特币、区块链、人工智能、自动 汽车 等,尚没有提及手机和云计算,而这一切,都离不开芯片这个产业,而芯片产业则缺少不了制造的基础,这是基础中的基础!

去年,该公司全球一共有10万多人求职,最终聘了2500人,40%是荷兰人,其余是外国人,聘用的人员过半在荷兰工作。

根据2016年的数字,全公司一共有将近17万名员工,其中2600多是临时职位,员工分别来自100多个国家。

在荷兰华人学者与工程师协会主持举办的人才论坛上,有在ASML工作的华人学者,呼吁华人专业人士前往ASML求职。

这就是著名的阿斯猫公司了。作为全世界芯片产业链、食物链的最顶端产品,阿斯猫的光刻机是这个星球上单价最贵最高的产品之一,关键人家还是有着极高的 科技 含量,全世界也仅此一家,别无分号。

阿斯猫最早是飞利浦旗下的产业,后来慢慢独立,外界也不容许这么关键的产品被放在飞利浦的帐下,还是让它保持相对独立更好,后来包括三星还有几家芯片业巨头,也买了些阿斯猫的股份,核心还是不让一家独大。

阿斯猫的牛逼,不仅在于它垄断了芯片行业最牛逼的光刻机,而且它的产业链上也集中了德国光学巨头蔡司、日本光学巨头尼康佳能等,对于从14nm到7nm演进的芯片业,阿斯猫的作用毋庸置疑。

中国不是不想发展光刻机,但据说中国目前光刻机的技术极限是几十纳米,差不多比阿斯猫落后了几十年。

当然,最近有个好消息就是,阿斯猫并不是绝对的对华封杀,今年好像卖给了中国企业一台光刻机,当然还得考虑阿斯猫的年产量太低了,到底啥时能交货,还不知道。

从广面聊聊吧;花絮聊聊吧。

对于其发展过程、作用、名字这里就不赘述了。

这就是现代战争。

你想买、他还不卖给你,你想做、你做不了。谁出钱使他们变成百万富翁、千万富翁、亿万富翁?是你、我,任何一个使用电脑、手机、高精仪器的人。

一吨黄金大约3700万欧元。

一吨碳钢大约600欧元。

利润率、利益量多么巨大!这地方能不富裕?

这样的企业很多很多,如暴雪、AMD……,没人提您可能都不知道……

这么巨大利益的获取是枪炮能达到的吗?

是多年的励精图治、信仰科学、回避口头上的你对我错、发展高度文明……的环境促成。

世界新的利益得失必将是在高精尖产品上,随着时间推移以后更明显。

这样的国家很多,像瑞士的手表、医疗设备……

那些一天到晚强调那几架破飞机速度、导弹速度、说狠话、拍胸脯的该醒醒神了,落后战胜不了先进,愚昧最终被智慧诏安。

古往今来决定博弈输赢的是:以优质的发展环境、聚拢高精尖人才、高精尖 科技 、高精尖工业及工业总量为核心的综合国力,除此无它。

荷兰什么公司这么牛,一台机器一亿欧?它就是全球最大芯片光刻设备市场供货商阿斯麦 (ASML) 。

阿斯麦公司ASML Holding NV(NASDAQ:ASML、Euronext:ASML)创立于1984年,是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商。前称ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改为现用名,总部位于荷兰费尔德霍芬(Veldhoven),全职雇员12,168人,是一家半导体设备设计、制造及销售公司。

目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔,三星,海力士,台积电,联电),格芯及其它半导体厂。随着摩尔定律的发展,芯片走向了7nm以下,这就需要更高级的EUV光刻系统,全球只有ASML的NXE:3400B能够满足需求。

ASML的光刻机怎样帮芯片助力?我们可以看一下ASML官方的介绍:

简单来说,这种光刻设备是一种投影系统。这个设备由50000个零件组装而成。

实际使用过程中,则通过激光束被投穿过一片印着图案的蓝图或光掩模,光学镜片将图案聚焦在有着光感化学涂层的硅晶圆上,当未受曝光的部分被蚀刻掉时,图案随即显现…

此制程被一再重复,用以在单个芯片上制造数以十亿计的微型结构。晶圆以2纳米的精准度互相叠加,并加速移动,快如闪电,达到这种精确度可谓高 科技 ,要知道,即使头发丝也有十万纳米,2纳米的精细可想而知。

朋友们,通过我的简单介绍是不是增长了些许知识?最后祝我们大中华,在 科技 领域快步赶上!

这家公司就是荷兰的asml公司,主要生产光刻机,在2017年,该公司卖出了198台光刻机,垄断了80%的高端光刻机市场。所有芯片制造商都必须要买asml光刻机,否则根本就无法生产芯片,而且一定要买最新的光刻机。

但是,即便如此,asml的光刻机仍然供不应求,需要提前预订,否则根本来不及生产,据悉今年80%的产品都是去年预订的,如果不提前预订根本买不到asml光刻机。

你认为哪家公司能把中国芯片做好?小米还是华为?

荷兰光刻机巨头ASML,全名Advanced Semiconductor Material Lithography(先进半导体材料光刻),是一家位于荷兰艾恩德霍芬的企业,目前是世界顶级的半导体设备生产商。

拜中美贸易所赐,这家荷兰企业在中国名声大噪,但是人家确实是有个实力,因为人家占据着70%的全球光刻机的市场,目前可以说是世界顶级的半导体加工设备制造商,而尼康和佳能和ASML的差距不是一星半点。

1984年,世界电器巨头飞利浦和半导体制造商ASMI联合起来,组建了ASML,专注于开发光刻系统。创业之初,飞利浦只给ASML投了210万美元,整个ASML团队也就只有几十人。光从这个金额和团队规模就能看出当时的ASML有多艰难了。此前的ASML,只是飞利浦旗下的一个品牌。

1995年,ASML在阿姆斯特丹和纽约上市,飞利浦随后渐渐抛售了它在ASML全部的股份。

2001年前后,ASML推出了名为TWINSCAN的双工件台光刻机。

2006年,ASML试制了第一台EUV光刻机样机。

2012年,ASML开始邀请其主要客户英特尔、三星和台积电入股自己,摊平每年高达十亿欧元的研发成本,联合制造量产型EUV光刻机,并且还保证优先给以上三家企业供货。通过这种方式,世界三大芯片制造企业也完成了和ASML的利益捆绑,形成了一个用资本和技术铸造的利益联合体。

这也就是为什么英特尔、三星和台积电只有这三家公司目前的芯片加工技术为什么一直领先世界半导体制造行业。

今天,ASML占据了全球光刻机市场七成以上的份额,在高端EUV光刻机领域一家独大。作为一家制造业企业,每年的毛利率可以达到44%,几乎和轻资产的互联网大厂处在同一个水平。

荷兰阿斯麦(ASML)一家200来人的小公司,这是众所周知的生产芯片制造设备——光刻机成套设备。这种设备全世界也就仅此一家,一般都是排队预定的。阿斯麦(ASML)产量并不高,年产量也就5~6台套设备。由于阿斯麦设备含有部分美国技术,所以美国以此为由打压华为,限制对中国出售该设备。

其实,阿斯麦(ASML)发展曾经遇到技术瓶颈时台积电工程师对其有过突破瓶颈之重大贡献,这位工程师后来由于其它原因与张汝京一道离开了台积电回到大陆创办了如今已经走过了20个年头的中芯国际。如今的中芯国际已经成为了中国在芯片制造领域的国家队。光刻机毕竟是目前世界上精度最高,技术最复杂的设备。我们相信中芯国际一直在努力突破光刻机的技术瓶颈。 “长风破浪会有时,直挂云帆济沧海”。 中芯国际终究会使中国人有扬眉吐气那一天的到来!

ASML公司(全称: Advanced Semiconductor Material Lithography),中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。

总部位于荷兰Veldhoven,欧洲人均科研经费排名第二的高 科技 公司。2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器

,全球净销售收入56.51亿欧元,净利润14.67亿欧元。截止2011年,全球市场占有率75%。

中国分公司地址:上海市张江高 科技 园区松涛路560号A栋17楼

ASML总部,荷兰Veldhoven

产品服务

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。

ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。

目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。

目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。

在中国

ASML一直致力于中国市场的拓展与合作,包括香港在内目前已经在北京,上海,深圳,无锡等地开设分公司,为客户提供及时的服务和咨询。随着公司业务的扩大和中国半导体产业的发展,相信大连,成都,重庆,武汉等新兴的半导体基地也会纳入ASML的版图之内。ASML有信心和中国半导体从业者一道,为技术创新和市场拓展开辟道路。目前ASML已经与浙江大学,大连理工大学,哈尔滨工业大学,上海交通大学等著名高等学府签定奖学金及科研合作协议,为培养和吸引本地人才,做出自己的一份贡献。

这个能卡主世界半导体行业脖子的公司,叫做阿斯麦,是世界上最顶级的光刻机制造商,全世界没有任何一家公司能与其并驾齐驱。

目前我国唯一能生产光刻机的公司是上海微电子(SMEE),占据了中国80%的市场份额。但即便是中国最先进的光刻机厂商,也仅仅是能90nm的光刻机。而这个牛逼的阿斯麦ASML公司,已经可以生产7nm,甚至是5nm的EUV光刻机了,差距真不是一代两代。

1、ASML的成立

在阿斯麦诞生之前,光刻机领域是索尼的天下。因为光刻机所使用的核心技术是感光和投影,索尼相机技术世界闻名,做光刻机自然水到渠成,比如我们以前经常用到的CD,就和这个比较类似。

阿斯麦成立之初,要技术没技术,要人才没人才,钱也少的可怜,直到他们开始和飞利浦实验室的合作,才开始了他的腾飞之路。

其实,早在几年前,飞利浦实验室就研发出自动化步进式光刻机(Stepper)的原型。但对此他们自己也没有信心,求着和其他大厂合作,也没人搭理他。后来,阿斯麦瞅准这个机会死命追求这个白富美,飞利浦实验室看不起这个矮穷矬,考虑了一年多,看到真的没人接盘,才考虑嫁给它,成立股权对半的合资公司。

2、超越索尼

和飞利浦成立合资公司,也仅仅是让ASML在光刻机行业立足了。但光刻机行业依然是索尼的天下,阿斯麦的市场份额长期不超过10%,被索尼远远甩在身后,直到一代牛人林本坚的出现。

在此之前,制作光刻机使用的一直是以空气为介质的“干式”投影技术,但这种技术发展到一定阶段遇到了一个瓶颈,那就是始终无法将光刻光源的193nm波长缩短到157nm。

当时,全世界的半导体行业都科学家,都投身光刻机领域,提出了很多方案,但要么是不具有可行性,要么就是太过超前,没有一个可以用的。

当时时任台积电研发副总经理的林本坚也注意到这个问题,他考虑如果157nm难以突破,为什么不退回到技术成熟的193nm,把透镜和硅片之间的介质从空气换成水,这样就可以突破157nm的限制,将波长所小到132nm。这个方案被成为“浸入式光刻技术”

虽然“浸入式光刻技术”更加现金,但当时却不被市场所接受,因为当时 社会 已经投入了巨资研究,一旦放弃,相当于之前的投入都打了水漂。所以,即便林本坚导出安利他的技术,依然没有任何公司愿意买账,直到遇到了阿斯麦。

林本坚加入阿斯麦后,迅速攻克了“浸入式光刻技术”的一系列难题,并达成了与inter和台积电的合作。后来阿斯麦还与台积电合作,双方共同研发成功全球第一台浸润式微影机。这种技术比索尼的干式微影技术技术更先进,成本也更低,所以迅速抢占了属于索尼的市场。

到了2009年,阿斯麦已经占有了70%的市场份额,索尼也从多年老大,憋屈的成为老二。

3、美国的助攻

虽然阿斯麦在与索尼的竞争中暂时获胜,但索尼也卯足力气要追赶上去。但美国的排挤,直接熄灭了索尼的所有幻想。

Intel和美国能源部共同发起成立EUV LLC组织,汇聚了美国顶级的研究资源和芯片巨头,包括劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室等三大国家实验室,联合摩托罗拉(当时如日中天)、AMD等企业,投入2.25亿美元资金,集中了数百位顶尖科学家,只为一件事:极紫外光刻机到底可不可行?

但这样一个重要的组织,却因为美国政府的干预,把索尼排除在外。

这时候的索尼所有的研究和技术只能自己一个人搞,而阿斯麦则是集合了全世界最顶级的智慧,享受全世界半导体领域的成果。

后来阿斯麦还在2013年,分别并购了美国光刻机巨头SVGL(硅谷光刻集团)和美国准分子激光源企业Cymer,打通了极紫外光刻机的生产产业链。然后,阿斯麦就生产出了5nm制作工艺的极紫外光刻机,彻底奠定了领先地位。

以上就是阿斯麦公司的发展经历,可以说阿斯麦的成功固然是自身苦心经营的结果,但也是全世界的结晶,是全世界最优秀的科学家的努力,才一步步突破了光刻机的种种限制,成就了阿斯麦如今蔑视群雄的霸主地位。

所以, 很多时候我们都讲,中国这么大,这么厉害,为什么连一台光刻机都造不出来的时候,我们应该想到,中国一个国家人才,是否能抵得上全世界的智慧?即便如此,我们的科学家和企业家依然在做,这是无奈之举,也是我们大国崛起的必经之路。

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